半導体

半導体プロセスでは、UPVC配管アクセサリと制御バルブの適用が重要です。半導体業界では、流体システムに対して、特に清浄度、材料の純度、耐食性、流体制御の精度など、非常に厳しい要求が課せられています。UPVC(未可塑化ポリ塩化ビニル)配管付属品は、その優れた耐食性と化学的安定性により、半導体業界で広く使用されています。

半導体製造には、流体システムが重要な役割を果たす多くの複雑なプロセスがあります。例えば、フォトリソグラフィー装置、PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)、エッチング装置などの基幹装置や、ウェーハ調製プロセス、設備パイプラインシステムなどには、高純度・超高純度の配管・バルブ部品が必要です。これらの部品には、ダイヤフラムバルブ、ベローズバルブ、減圧バルブ、チェックバルブ、クリーンパイプ、ガス制御機器など、さまざまなタイプのバルブが含まれます。

半導体業界の高純度バルブは、流体のオン/オフ制御、流体の流れの調整、流体の方向変更という3つの主要な機能を果たします。これらのバルブは、エッチングプロセスや薄膜形成プロセスなど、集積回路チップのフロントエンドプロセス装置やガス供給システムで重要な役割を果たします。半導体業界の厳しい要件を満たすために、これらのバルブは通常、超高純度ステンレス鋼で作られ、電解研磨と不動態化を受けて良好な耐食性を実現します。

YNTOブランドのバルブは、空気圧バルブ、電気バルブ、自動制御バルブなどの半導体プロセスに適した流体および制御バルブの提供を専門としています。

要約すると、半導体プロセスにおけるUPVC配管アクセサリと制御バルブの適用は、高精度で信頼性の高い流体制御システムに対する業界の要求を反映しています。これらのシステムは、半導体製造の効率と製品品質を確保するために、非常にクリーンで高精度な環境で安定して動作できる必要があります。